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FFU風(fēng)機過濾機組使用/維護說明書


1.概述

1-1風(fēng)機過濾器單元

風(fēng)機過濾器單元(FFU)是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。

風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。

●使用環(huán)境

?周圍溫度:5℃~40℃

?濕度:低于85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)

?周圍空氣:一般室內(nèi)空氣

?清凈度:100-10

?請避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機體

 

如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機濾網(wǎng)機組,將會影響制品性能,并可能會發(fā)生電氣短路現(xiàn)象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。

為能安全且有效地使用風(fēng)機過濾器單元請參閱第4頁的〝重要安全事項〞。

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2.重要安全事項

 

不當使用風(fēng)機過濾器單元組將會造成制品性能降低,使用時請務(wù)必遵守下列事項:

2-1 安裝使用環(huán)境

●風(fēng)機過濾器單元的安裝應(yīng)遠離加熱器、火爐或其它熱源。

● 設(shè)置風(fēng)機過濾器單元場所不可放置易燃物,以免發(fā)生火災(zāi)。

● 請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品,如果機體吸入這些化學(xué)物品將有可能會導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。

● 請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品,如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會導(dǎo)致機體腐蝕及損壞。

 

2-2 運送與安裝

● 請在風(fēng)機過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運制品,搬運時務(wù)必保持水平,如果使用輕便推車等工具運送時,請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。

● 機體安裝后,機體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間,以利將來機體維修,未預(yù)留足夠的維修空間,機體將無法進行維修及部件更換。

● 試運轉(zhuǎn)前,請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。

 

2-3 安裝?使用注意事項

●風(fēng)機過濾器單元安裝于無塵室時,請務(wù)必遵守下列指示

?當進入無塵室(www.iwuchen.com)時

請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。

請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。

請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。

點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。

 

● 切勿直接重壓風(fēng)機過濾器單元機體,以免造成機體變形。

 

● 請勿以沾濕的手操作機體,以免發(fā)生觸電危險。

 

● 請勿遮蔽機體吸入口及吹出口,機體吸入口及吹出口被遮蔽,將導(dǎo)致機體性能無法正常發(fā)揮,造成機體功能異?;螂姎獠考p壞。

 

● 實施第三種接地工事,以避免電擊產(chǎn)生之危險。

 

 

3.安裝使用

 

3-1運轉(zhuǎn)前檢查事項

運轉(zhuǎn)前請先檢查下列注意事項:

● 機體外部電源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當。

● 機體接地工事是否已實施。

● 機體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護膜是否已取下。

3-2運轉(zhuǎn)時注意事項

(1) 開始運轉(zhuǎn)

● 當電源開啟后,機體即開始運轉(zhuǎn)。

● 機體運轉(zhuǎn)后請確認是否有異常現(xiàn)象。

當有下列情形發(fā)生,機體無法正常運轉(zhuǎn)時,請向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。

● 機體內(nèi)部有異物,機體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。

● 機體內(nèi)部電線脫落,接頭松脫。

● 機體內(nèi)部電氣部件,如過電源插頭、馬達損壞。

(2) 停止運轉(zhuǎn)

● 運轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?,F(xiàn)象,請即切斷電源,停止機體運轉(zhuǎn)。

 

 

4.維修?點檢

 

● 自購買日起進行定期檢查,請勿自行檢查,以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。

● 除了維修人員外,請勿自行拆解、修理或變更規(guī)格,以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。

● 當更換濾網(wǎng)等部件時,請注意不要損壞濾紙。

● 維修?點檢時,請務(wù)必先切斷電源,停止機器運轉(zhuǎn)后再實施,以免發(fā)生觸電或傷害危險。

● 當安裝?維修?點檢完成后,在機體起動前,請確定機體基礎(chǔ)穩(wěn)固。

4-1日常維護

每天工作開始之前請依表2.點檢下列各項,當發(fā)現(xiàn)有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。

表2. 日常維護

NO.

點檢專案

判斷標準

1

離心風(fēng)扇及馬達

?離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順,沒有產(chǎn)生異常聲音,若聽到異常聲音,請確認送風(fēng)機內(nèi)有無異物以及馬達軸承的聲音是否異常,若馬達有問題,請更換馬達。

2

濾網(wǎng)

?濾網(wǎng)表面有無損傷、污點、骯臟….等

3

機體外觀

?機體外觀有無損傷

4-2定期維護

使用風(fēng)機過濾器單元一段時間后,因使用環(huán)境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風(fēng)機過濾器單元的正常運轉(zhuǎn),請務(wù)必實施下列定期點檢。

4-2.1定期維護

(1)定期維護項目
請依表3.所示,對風(fēng)機過濾器單元實施定期點檢,當部件壽命已至?xí)r,請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。

(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生,停機再啟動后,請務(wù)必實施相同的檢查。

 

表3. 定期維護項目

 

部件位置

征兆及可能原因

評價標準,確認點

檢查頻率

部件壽命

馬達

(1)軸承損壞而使馬達運轉(zhuǎn)不平順或死鎖。

(2)絕緣不良造成過熱、過載導(dǎo)致線圈燒損。

(3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發(fā)熱、接地錯誤、層間短路…..等。

?確認馬達有無異音、振動及味道,用耳朵確認軸承有無異常聲音。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕,更換不良部件。

一年一次

5年以上

離心風(fēng)扇

(1)因灰塵迭積或破損使得運轉(zhuǎn)不平衡而損壞。

?檢查離心風(fēng)扇有無異音、振動及破損,更換不良部件。

一年一次

5

其它的電氣部件及配線材料

(1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。

(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。

?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體,配線表皮破損…..等。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。

一年一次

5

濾網(wǎng)

(1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。

(2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。

(3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。

?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。

?檢查泄漏更換不良部件。

一年一次

 (視不同使用場所需要而定)

外箱

及其它組件

因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。

 

?目視檢查部件有無不良、褪色….等。

一年一次

其它部件8

 

表4消耗性部件的更換期間 ( iwuchen建議 )

 

部  品

更 換 期 間

濾網(wǎng)

1-2(室內(nèi)清凈度100,000級的場所)  

初效濾網(wǎng)

3個月(不同場所而有所區(qū)別)

馬達

5年以上

注:濾網(wǎng)更換期間會因不同使用場所的差異而有所不同。

4.2.2點檢完成

點檢完成后,清潔工作場所及確認風(fēng)機過濾器單元在正常運轉(zhuǎn)狀況;保留點檢報告,當部件更換或機體更新時作為參考。

4-3故障排除

?若有以下現(xiàn)象發(fā)生,連絡(luò)本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細),然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。

現(xiàn)    象

可  能  原  因

改  善  措  施

離心風(fēng)扇不運轉(zhuǎn)

?電源未打開

?馬達束心

?電器件損壞

?馬達不良

?打開電源

?拆除外表的異物

?更換電器件

?更換馬達

離心風(fēng)扇產(chǎn)生異常者(運轉(zhuǎn)中)

?馬達外殼與離心風(fēng)扇接觸

?連絡(luò)經(jīng)銷商及采取適合的改善措施

 

● 非服務(wù)技術(shù)人員請勿拆解、修理或修改風(fēng)機過濾器單元,以避免造成嚴重的意外,例如觸電或火災(zāi)。

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